文献

J-GLOBAL ID：200902186693693975   整理番号：01A0796323

MSTのためのプラズマ支援室温ボンディング

Plasma assisted room temperature bonding for MST.

著者 (3件)： WEINERT A (Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE) ,  AMIRFEIZ P (Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE) ,  BENGTSSON S (Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A92  号： 1/3  ページ： 214-222  発行年： 2001年08月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸素プラズマ処理またはアルゴンプラズマ処理に基づいた室温ウエ...

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  支援 ,  室温 ,  ボンディング