エーロゾル堆積法により作製したPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>薄膜の電気および光学特性に及ぼすキャリアガス状件の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902186791929138 整理番号：01A1009095

エーロゾル堆積法により作製したPb(Zr,Ti)O₃薄膜の電気および光学特性に及ぼすキャリアガス状件の影響

Influence of Carrier Gas Conditions on Electrical and Optical Properties of Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Films Prepared by Aerosol Deposition Method.

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巻： 40 号： 9B ページ： 5528-5532 発行年： 2001年09月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

標記によりITO/石英基板上にPZT薄膜を堆積し,電気および...

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 酸化物薄膜 , 光物性一般

引用文献 (27件)：

1) C. Hayashi, S. Kashu, M. Oda and F. Naruse: Mater. Sci. Eng. A 163 (1993) 157.
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