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J-GLOBAL ID:200902186791929138   整理番号:01A1009095

エーロゾル堆積法により作製したPb(Zr,Ti)O3薄膜の電気および光学特性に及ぼすキャリアガス状件の影響

Influence of Carrier Gas Conditions on Electrical and Optical Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared by Aerosol Deposition Method.
著者 (2件):
資料名:
巻: 40  号: 9B  ページ: 5528-5532  発行年: 2001年09月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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標記によりITO/石英基板上にPZT薄膜を堆積し,電気および...
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分類 (3件):
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強誘電体,反強誘電体,強弾性  ,  酸化物薄膜  ,  光物性一般 
引用文献 (27件):
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