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J-GLOBAL ID：200902187185182791   整理番号：01A0052791

結晶シリコン基板上のMgF₂及びCeO₂膜を用いた二重層反射防止コーティング

Double-layer anti-reflection coating using MgF₂ and CeO₂ films on a crystalline silicon substrate.

著者 (3件)： LEE S E (Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR) ,  CHOI S W (Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR) ,  YI J (Sungkyunkwan Univ., Kyunggi-do, KOR)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 376  号： 1/2  ページ： 208-213  発行年： 2000年11月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記二重層から成る反射防止コーティングを検討した。屈折率が2...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 結晶 ,  シリコン基板 ,  MgF2 ,  二重層 ,  反射防止コーティング