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J-GLOBAL ID:200902187191113173   整理番号:01A0142713

イオンビーム介助析出により生成するBCN膜の性質

The properties of BCN films formed by ion beam assisted deposition.
著者 (4件):
資料名:
巻: 19  号:ページ: 291-295  発行年: 2000年12月20日 
JST資料番号: W0541A  ISSN: 0927-7765  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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BCN薄膜の生成と性質を調べた。BCN膜をイオンビーム介助析...
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その他の無機化合物の薄膜 
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