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J-GLOBAL ID：200902187191113173   整理番号：01A0142713

イオンビーム介助析出により生成するBCN膜の性質

The properties of BCN films formed by ion beam assisted deposition.

著者 (4件)： YASUI H (Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN) ,  HIROSE Y (Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN) ,  AWAZU K (Industrial Res. Inst. Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  IWAKI M (RIKEN, Saitama, JPN)
資料名： Colloids and Surfaces. B. Biointerfaces  (Colloids and Surfaces. B. Biointerfaces)
巻： 19  号： 3  ページ： 291-295  発行年： 2000年12月20日 
JST資料番号： W0541A  ISSN： 0927-7765  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BCN薄膜の生成と性質を調べた。BCN膜をイオンビーム介助析...

シソーラス用語： 炭素 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビーム ,  介助 ,  析出 ,  性質