アルキン安定化銅(I)ヘキサフルオロアセチルアセトナト錯体から化学蒸着した銅

BAUM T H; LARSON C E

文献

J-GLOBAL ID：200902187538910931 整理番号：93A0194738

アルキン安定化銅(I)ヘキサフルオロアセチルアセトナト錯体から化学蒸着した銅

Chemical Vapor Deposited Copper from Alkyne Stabilized Copper(I) Hexafluoroacetylacetonate Complexes.

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巻： 140 号： 1 ページ： 154-159 発行年： 1993年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

アルキン安定化Cu(I)ヘキサフルオロアセチルアセトナト錯体...

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金属薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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