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J-GLOBAL ID：200902187825543010   整理番号：94A0452438

ラジオ周波数マグネトロンスパッタリングによって堆積させた極端紫外Mo/Si多層膜鏡

Extreme-ultraviolet Mo/Si multilayer mirrors deposited by radio-frequency-magnetron sputtering.

著者 (5件)： MONTCALM C (Univ. Quebec, Quebec, CAN) ,  SULLIVAN B T (National Research Council of Canada, Ontario, CAN) ,  PEPIN H (Univ. Quebec, Quebec, CAN) ,  DOBROWOLSKI J A (National Research Council of Canada, Ontario, CAN) ,  SUTTON M (McGill Univ., Quebec, CAN)
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 33  号： 10  ページ： 2057-2068  発行年： 1994年04月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rfマグネトロンスパッタ法を用いて130~135Åの波長域に...

シソーラス用語： 真空紫外線 ,...

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分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (7件)： ラジオ ,  マグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  極端紫外 ,  Mo ,  Si ,  多層膜鏡