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J-GLOBAL ID：200902188182472574   整理番号：00A0287184

空気軸受制御による走査近視野光学顕微鏡法プローブスライダを用いた線-間隔パターンの1.5Mbit/s直接読取

1.5-Mbit/s direct readout of line-and-space patterns using a scanning near-field optical microscopy probe slider with air-bearing control.

著者 (4件)： ISSIKI F (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  ITO K (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  ETOH K (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN) ,  HOSAKA S (Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 76  号： 7  ページ： 804-807  発行年： 2000年02月14日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ピラミッド型プローブを用いて,回転ディスク上の0.25μmパ...

シソーラス用語： *マイクロプローブ ,...
準シソーラス用語： *近視野 ,...

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分類 (2件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 空気軸受 ,  走査 ,  近視野 ,  光学顕微鏡法 ,  プローブ ,  スライダ ,  読取