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J-GLOBAL ID：200902188435274960   整理番号：96A0711266

表面波励起プラズマの生成とその応用 表面波とプラズマ生成-概論 表面波の励起と伝搬

Production of Surface Wave Plasma and its Application. Surface Waves and Plasma Production-Overview. Excitation and Propagation of Surface Waves.

著者 (1件)： 野中繁彦 (豊田工大)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 72  号： 7  ページ： 622-628  発行年： 1996年07月 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFプラズマの一つにプラズマと誘電体との境界に沿って伝搬する...

シソーラス用語： 表面波励振 ,...
準シソーラス用語： 表面波励起プラズマ

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分類 (2件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  プラズマ中の電磁波  (BJ02032F)

引用文献 (24件)：

• TRIVELPIECE, A. W. J. Appl. Phys. 1959, 30, 1784
• AKAO, Y. J. Appl. Phys. 1964, 34, 2565
• AKAO, Y. J. Appl. Phys. 1966, 37, 290
• AKAO, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 1967, 6, 525
• NONAKA, S. J. Appl. Phys. 1983, 54, 3798

タイトルに関連する用語 (7件)： 表面波励起 ,  プラズマ ,  応用 ,  表面波 ,  プラズマ生成 ,  励起 ,  伝搬