Surface decomposition kinetics of organosilane precursors to silicon carbide.

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J-GLOBAL ID：200902188617639018 整理番号：93A0781532

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ページ： 457-462 発行年： 1993年
JST資料番号： K19930443 ISBN： 1-55899-177-8 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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