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J-GLOBAL ID:200902188865130679   整理番号:96A0436680

気液相変化マイクロアクチュエータの試作

Fabrication of a Gas-liquid Phase-change Micro-actuator.
著者 (5件):
資料名:
巻: 73rd  号: Pt 4  ページ: 67-68  発行年: 1996年04月 
JST資料番号: X0588A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究は,マイクロアクチュエータの一つの方法として,液溜の容...
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分類 (1件):
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油圧・空気圧機器 
タイトルに関連する用語 (3件):
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