文献
J-GLOBAL ID：200902189287297987
整理番号：97A0137737
低コヒーレンス共焦点干渉顕微鏡による多層の厚みと屈折率の同時測定
Simultaneous measurement of thicknesses and refractive indices of multiple layers by a low-coherence confocal interference microscope.
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
21
号：
23
ページ：
1942-1944
発行年：
1996年12月01日
JST資料番号：
H0690A
ISSN：
0146-9592
CODEN：
OPLEDP
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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多層の厚みと屈折率の同時測定のための新しい技術を提案した。こ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語：
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分類 (3件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
光学的測定とその装置一般
, 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
, 屈折及び反射の測定と装置
タイトルに関連する用語 (7件)：
タイトルに関連する用語
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