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J-GLOBAL ID:200902189855723783   整理番号:01A0650325

高κゲート誘電体 現状と材料特性の考察

High-κ gate dielectrics: Current status and materials properties considerations.
著者 (3件):
資料名:
巻: 89  号: 10  ページ: 5243-5275  発行年: 2001年05月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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0.1μm以下のCMOS技術のためのゲート誘電体材料としてS...
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス材料  ,  酸化物薄膜  ,  半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (3件):
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