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J-GLOBAL ID:200902190353230943   整理番号:96A0299887

GaNの室温における光促進湿式エッチング

Room-temperature photoenhanced wet etching of GaN.
著者 (3件):
資料名:
巻: 68  号: 11  ページ: 1531-1533  発行年: 1996年03月11日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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試料技術  ,  固体デバイス製造技術一般 
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