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J-GLOBAL ID：200902191198067271   整理番号：01A1033612

ナノ押込による薄膜の機械特性の測定に関する数値研究

Numerical study on the measurement of thin film mechanical properties by means of nanoindentation.

著者 (2件)： CHEN X (Harvard Univ., Massachusetts) ,  VLASSAK J J (Harvard Univ., Massachusetts)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 16  号： 10  ページ： 2974-2982  発行年： 2001年10月 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ押込による薄膜の硬さ,剛性の測定に及ぼす基板,パイルアッ...

シソーラス用語： *押込 ,...

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分類 (3件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  材料試験一般  (HB01000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ押込 ,  薄膜 ,  機械特性 ,  数値 ,  研究