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J-GLOBAL ID：200902192018798873   整理番号：98A0608025

薄膜形状記憶合金の作動マイクロポンプ

Thin-Film Shape-Memory Alloy Actuated Micropumps.

著者 (4件)： BENARD W L (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  KAHN H (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  HEUER A H (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  HUFF M A (Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 7  号： 2  ページ： 245-251  発行年： 1998年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薬剤の流出,燃料の噴射,マイクロトータル化学分析システム(μ...

シソーラス用語： *プロセスポンプ ,...

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分類 (1件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  形状記憶合金 ,  マイクロポンプ