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J-GLOBAL ID：200902192020403088   整理番号：98A0568123

水作動液を用いた静圧軸受の基礎的研究 各絞り要素の設計基準の確立

Study on Fluid-static Bearing Using Water as Pressure Fluid. Defining of Design Rule of Fluid Element.

著者 (4件)： 楠井直樹 (沼津工高専) ,  羽山定治 (東芝機械) ,  大友明宏 (東芝機械) ,  吉川昌範 (東京工大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 64  号： 6  ページ： 851-855  発行年： 1998年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： リソグラフィ工程など,半導体製造装置における精密位置決め制御...

シソーラス用語： 位置決め装置 ,...
準シソーラス用語： 作動油

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分類 (1件)： 軸受  (QB01020W)

引用文献 (5件)：

• 小竹祐治. 水溶性加工液を使用した静圧案内. 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1988, H69, 857
• 木村芳一. 水潤滑静圧ジャーナル軸受の特性. エハラ時報. 1984, 127, 2
• 吉本成香. 水潤滑静圧スラスト軸受に関する研究. 1994年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1994, L21, 407
• 稲崎一郎. 静圧軸受. 1990, 41
• 日比昭. 円筒形絞りの特性. 油圧と空気圧. 1971, 2, 2, 72

タイトルに関連する用語 (7件)： 水 ,  作動液 ,  静圧軸受 ,  基礎 ,  研究 ,  要素 ,  設計基準