BUSTILLO J M について
Univ. California at Berkeley, CA, USA について
HOWE R T について
Univ. California at Berkeley, CA, USA について
MULLER R S について
Univ. California at Berkeley, CA, USA について
Proceedings of the IEEE について
マイクロマシニング について
固体デバイス製造技術一般 について
微小電気機械システム について
表面マイクロマシニング について