化学蒸着膜の優先配向を予測するモデル

NISHIOKA K; MIZUTANI N; KOMIYAMA H

文献

J-GLOBAL ID：200902192407058699 整理番号：00A0466862

化学蒸着膜の優先配向を予測するモデル

A Model for Predicting Preferential Orientation of Chemical-Vapor-Deposited Films.

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資料名：
巻： 147 号： 4 ページ： 1440-1442 発行年： 2000年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

CVD膜の優先結晶配向を予測するモデルを示した。このモデルは...

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金属薄膜

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