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J-GLOBAL ID：200902192486713400   整理番号：01A0766714

自己集合したエーロゲル状低誘電率膜

Self-assembled aerogel-like low dielectric constant films.

著者 (6件)： FAN H (Sandia National Lab., NM, USA) ,  BENTLEY H R (Sandia National Lab., NM, USA) ,  KATHAN K R (Univ. New Mexico, NM, USA) ,  CLEM P (Sandia National Lab., NM, USA) ,  LU Y (Sandia National Lab., NM, USA) ,  BRINKER C J (Sandia National Lab., NM, USA)
資料名： Journal of Non-Crystalline Solids  (Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 285  号： 1/3  ページ： 79-83  発行年： 2001年06月 
JST資料番号： D0642A  ISSN： 0022-3093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 制御された間隙率と誘電率を有するナノ多孔質シリカ膜をスピンコ...

シソーラス用語： *薄膜 ,...
準シソーラス用語： *シリカ ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  コロイド化学一般  (CB11010C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 自己集合 ,  エーロゲル ,  低誘電率膜