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J-GLOBAL ID：200902192822528811   整理番号：94A0128275

素材加工における高度表面処理技術の研究開発 イオンビームスパッタリング法,CVD法による機能膜の作製

著者 (8件)： 元山宗之 (兵庫県工技セ) ,  林行信 (兵庫県工技セ) ,  石間健市 (兵庫県工技セ) ,  河合進 (兵庫県工技セ) ,  吉岡秀樹 (兵庫県工技セ) ,  石原嗣生 (兵庫県工技セ) ,  網田佳代子 (兵庫県工技セ) ,  松井博 (兵庫県工技セ)
資料名： 兵庫県立工業技術センター研究報告書  (兵庫県立工業技術センター研究報告)
号： 3(1993)  ページ： 47  発行年： 1993年11月 
JST資料番号： L1312A  ISSN： 0918-0192  CODEN： HKSHEQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： 素材 ,  表面処理 ,  研究 ,  開発 ,  イオンビームスパッタリング法 ,  CVD法 ,  機能膜 ,  作製