RFマグネトロンスパッタリングと分子ビームエピタクシーによる(100)Si上へのZnSの低温エピタキシャル成長

文献

J-GLOBAL ID：200902193398112754 整理番号：95A0028011

Low temperature epitaxial deposition of ZnS onto (100)Si by RF magnetron sputtering and molecular beam epitaxy.

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巻： 143 号： 3/4 ページ： 172-175 発行年： 1994年10月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

RFマグネトロンスパッタリングと分子ビームエピタクシーによっ...

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半導体薄膜

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