中真空アーク蒸着法によるTiO<sub>2</sub>薄膜の生成とその結晶化

文献

J-GLOBAL ID：200902193591545943 整理番号：96A0622939

中真空アーク蒸着法によるTiO₂薄膜の生成とその結晶化

Synthesis of TiO₂ Film by Medium Vacuum Arc Deposition Method and Its Crystallization.

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資料名：
巻： SP-96 号： 17-25 ページ： 61-70 発行年： 1996年06月03日
JST資料番号： Z0966B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

陰極にTi,導入ガスにO₂を用いてTi...

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酸化物薄膜

引用文献 (11件)：

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