Cu/Siコンタクト系における薄いナノ結晶ZrN拡散障壁の高性能

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J-GLOBAL ID：200902193599650630 整理番号：02A0599370

High performance of thin nano-crystalline ZrN diffusion barriers in Cu/Si contact systems.

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巻： 190 号： 1/4 ページ： 450-454 発行年： 2002年05月08日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

薄いナノ結晶ZrN膜を用いてCu/Siコンタクトに熱的に安定...

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金属薄膜 , 固体中の拡散一般 , その他の無機化合物の薄膜

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