研究者
J-GLOBAL ID:200901025748453475
更新日: 2022年08月15日
野矢 厚
ノヤ アツシ | Noya Atsushi
所属機関・部署:
北見工業大学 工学部 電気電子工学科
北見工業大学 工学部 電気電子工学科 について
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職名:
教授
研究分野 (1件):
電気電子材料工学
研究キーワード (2件):
電子・電気材料工学
, Electronic and Electric Materials Engineering
競争的資金等の研究課題 (10件):
化合物半導体へのコンタクト形成に関する研究
配線材料に関する研究
薄膜電子材料に関する研究
化合物半導体へのオーミック電極形成に関する研究
金属/半導体界面形成に関する研究
Formation of contacts to compound semiconductor
Materials for interconnection
characterizations of thin solid films
Formation of ohmic contacts to compound semiconductors
Formation of metal/semiconductor interfaces
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MISC (44件):
MB Takeyama, T Itoi, E Aoyagi, A Noya. Diffusion barrier properties of nano-crystalline TiZrN films in Cu/Si contact systems. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2003. 216. 1-4. 181-186
MB Takeyama, T Itoi, E Aoyagi, A Noya. Diffusion barrier properties of nano-crystalline TiZrN films in Cu/Si contact systems. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2003. 216. 1-4. 181-186
Thermal stability of W
2
N compound barrier in W/W
2
N/poly-Si gate electrode configurations. IEICE Trans. Electronics. 2003. E86-C, 2332-2335
Thermal stability of W2N compound barrier in W/W2N/poly-Si gate electrode configurations. IEICE Trans. Electronics. 2003. E86-C, 2332-2335
High performance of thin nano-crystalline ZrN diffusion barriers in Cu/Si contact systems. Applied Surface Science. 2002. 190(1-4), 446-450
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学歴 (4件):
- 1980 北海道大学 工学研究科 電子工学
- 1980 北海道大学
- 1974 室蘭工業大学 工学部 電子工学
- 1974 室蘭工業大学
学位 (1件):
工学博士 (北海道大学)
経歴 (8件):
1991 - 1994 北見工業大学 助教授
1991 - 1994 北見工業大学
1994 - - 北見工業大学 教授
1994 - - Kitami Institute of Technology, Professor
1990 - 1991 北見工業大学 講師
1990 - 1991 北見工業大学
1980 - 1990 北見工業大学 助手
1980 - 1990 北見工業大学
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所属学会 (2件):
応用物理学会
, 電子情報通信学会
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