文献
J-GLOBAL ID:200902193753340844
整理番号:94A0196001
加熱気化/誘導結合プラズマ質量分析法によるシリコンウェハー中の超微量クロム,鉄,ニッケル及び銅の深さ方向分布の測定
Depth profiling of ultratrace chromium, iron, nickel, and copper in silicon wafers by electrothermal vaporization/ICP-MS.
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