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J-GLOBAL ID：200902194105917164   整理番号：94A0375036

磁歪を駆動力とした薄膜アクチュエータの試作

Fabrication of Thin-Film Actuators Using Magnetostriction.

著者 (4件)： 本田崇 (トーキン) ,  林嘉隆 (東北大 電通研) ,  山口正洋 (東北大 電通研) ,  荒井賢一 (東北大 電通研)
資料名： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 18  号： 2  ページ： 477-480  発行年： 1994年04月 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 0285-0192  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高磁歪のTb-FeおよびSm-Fe薄膜をマイクロアクチュエー...

シソーラス用語： アクチュエータ ,...
準シソーラス用語： 磁気ひずみ

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分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

引用文献 (9件)：

• 1) 江刺正喜, 藤田博之, 五十嵐伊勢美, 杉山 進 (共著): マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス培風館 (1992).
• 2) 白江公輔, 荒井賢一, 島田 寛 (共著): マイクロ磁気デバイスのすべて, 工業調査会 (1992).
• 3) H. Guckel, T. R. Christenson, K. J. Skrobis, J. Klein and M. Karnowsky: 7th Int. Conf. Solid-Stare Sensors and Actuators, Transuducers '93, p. 76 (1993).
• 4) T. Arai: Proc, IEEE MEMS '91 Workshop, p. 210 (1991).
• 5) Y. Hayashi, T. Honda, K. I. Arai, K. Ishiyama and M. Yamaguchi: IEEE Trans. Magn., 29 (1993) in press.

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁歪 ,  駆動力 ,  薄膜 ,  アクチュエータ ,  試作