低温の四面体非晶質炭素膜の作成と特性

KON’KOV O I; TERUKOV E I; TRAPEZNIKOVA I N

文献

J-GLOBAL ID：200902194352919285 整理番号：97A0152511

低温の四面体非晶質炭素膜の作成と特性

Fabrication and properties of low-temperature tetrahedral amorphous carbon films.

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資料名：
巻： 30 号： 12 ページ： 1138-1139 発行年： 1996年12月
JST資料番号： T0093A ISSN： 1063-7826 CODEN： SMICES 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高度に四面体的な非晶質炭素膜を,約300Kの温度,グロー放電...

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半導体薄膜 , 非晶質・液体半導体の電気伝導 , 半導体のルミネセンス

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