ナノ構造のためのリソグラフィー手段としての走査プローブ

文献

J-GLOBAL ID：200902194854359607 整理番号：97A0929487

Scanning probes as a lithography tool for nanostructures.

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資料名：
巻： 386 号： 1/3 ページ： 259-264 発行年： 1997年10月01日
JST資料番号： C0129B ISSN： 0039-6028 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

走査プローブを利用した新しいナノ構造技術を解説した。パターン...

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固体デバイス製造技術一般 , 顕微鏡法

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