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J-GLOBAL ID：200902194972846792   整理番号：99A1024019

ガス蒸着法によって形成された直接蒸着圧電厚膜の電気特性 蒸着膜の焼鈍効果

Electrical Properties of Direct Deposited Piezoelectric Thick Film Formed by Gas Deposition Method. Annealing Effect of the Deposited Films.

著者 (5件)： AKEDO J (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MINAMI N (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  FUKUDA K (Honda Engineering Co. Ltd., Saitama, JPN) ,  ICHIKI M (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 231  号： 1/4  ページ： 873-880  発行年： 1999年06月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： ガス蒸着 ,  蒸着 ,  圧電 ,  厚膜 ,  電気特性 ,  蒸着膜 ,  焼鈍