文献

J-GLOBAL ID：200902195598336498   整理番号：97A0469956

アレイになったガラス状炭素フィールドエミッタの製作

Fabrication of arrayed glassy carbon field emitters.

著者 (4件)： SOHDA Y (Cornell Univ., New York) ,  TANENBAUM D M (Cornell Univ., New York) ,  TURNER S W (Cornell Univ., New York) ,  CRAIGHEAD H G (Cornell Univ., New York)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 15  号： 2  ページ： 343-348  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス状炭素(GC)基板とLSIプロセスを用いたエミッタチッ...

シソーラス用語： 半導体素子 ,...
準シソーラス用語： フィールドエミッタ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0469956&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： アレイ ,  ガラス状炭素 ,  フィールドエミッタ ,  製作