ROSSNAGEL S M について
IBM Res., New York について
SHERMAN A について
Sherman and Associates, California について
TURNER F について
Sherman and Associates, California について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について
銅 について
ステップカバレッジ について
金属薄膜 について
固体デバイス製造技術一般 について
相互接続 について
拡散障壁 について
Ta について
Ti膜 について
プラズマ について
増強 について
原子層蒸着 について