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J-GLOBAL ID：200902196374108224   整理番号：01A0588102

TEM,SEM,STEM,AESおよびSIMS分析への集束イオンビーム・リフトアウト試料調製の応用

Application of focused ion beam lift-out specimen preparation to TEM, SEM, STEM, AES and SIMS analysis.

著者 (9件)： STEVIE F A (Lucent Technol., FL, USA) ,  VARTULI C B (Lucent Technol., FL, USA) ,  GIANNUZZI L A (Univ. Central Florida, FL, USA) ,  SHOFNER T L (Lucent Technol., FL, USA) ,  BROWN S R (Lucent Technol., FL, USA) ,  ROSSIE B (Lucent Technol., FL, USA) ,  HILLION F (CAMECA, Courbevoie, FRA) ,  MILLS R H (Lucent Technol., FL, USA) ,  PURCELL B M (Lucent Technol., FL, USA)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 31  号： 5  ページ： 345-351  発行年： 2001年05月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空間解像度5~7nmを持つ市販の集束イオンビーム(FIB)ワ...

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,...

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分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (9件)： TEM ,  SEM ,  STEM ,  AES ,  SIMS分析 ,  集束イオンビーム ,  リフト ,  試料調製 ,  応用