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J-GLOBAL ID:200902196432188470   整理番号:94A0062323

Amorphous W40Re40B20 diffusion barriers for 〈Si〉/Al and 〈Si〉/Cu metallizations.

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巻: 236  号: 1/2  ページ: 301-305  発行年: 1993年12月15日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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