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J-GLOBAL ID：200902196716268083   整理番号：97A0416323

ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の成長に及ぼす製造条件の影響 リアルタイムな分光エリプソメトリーによる研究

Effects of processing conditions on the growth of nanocrystalline diamond thin films: real time spectroscopic ellipsometry studies.

著者 (8件)： HONG B (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  LEE J (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  COLLINS R W (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  KUANG Y (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  DRAWL W (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  MESSIER R (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  TSONG T T (Acad. Sinica, Taipei, TWN) ,  STRAUSSER Y E (Digital Instruments, CA, USA)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 6  号： 1  ページ： 55-80  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板温度とガス組成を変え,マイクロ波プラズマCVDで作製した...

シソーラス用語： 偏光解析法 ,...
準シソーラス用語： メタン

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ結晶 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  成長 ,  製造条件 ,  リアルタイム ,  分光エリプソメトリー ,  研究