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J-GLOBAL ID:200902196716268083   整理番号:97A0416323

ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の成長に及ぼす製造条件の影響 リアルタイムな分光エリプソメトリーによる研究

Effects of processing conditions on the growth of nanocrystalline diamond thin films: real time spectroscopic ellipsometry studies.
著者 (8件):
資料名:
巻:号:ページ: 55-80  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: W0498A  ISSN: 0925-9635  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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基板温度とガス組成を変え,マイクロ波プラズマCVDで作製した...
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体薄膜  ,  セラミック・磁器の性質 

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