TiO<sub>2</sub>薄膜の成長構造のAFMおよびTEMによる研究

文献

J-GLOBAL ID：200902196735050714 整理番号：01A0473207

TiO₂薄膜の成長構造のAFMおよびTEMによる研究

Study of the growth morphology of TiO₂ thin films by AFM and TEM.

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資料名：
巻： 140 号： 2 ページ： 155-160 発行年： 2001年05月30日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Si(111)ウエハ上に高屈折率のTiO<sub>2</su...

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酸化物薄膜 , 光物性一般

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