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J-GLOBAL ID：200902197274103299   整理番号：01A0646338

非平衡マグネトロンスパッタリングにより堆積したCoNx薄膜の微細構造と電気特性

Microstructure and electrical properties of CoNx thin films deposited by unbalanced magnetron sputtering.
著者 (4件)：
ASAHARA H

ASAHARA H について

(Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN)

Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN について

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MIGITA T

MIGITA T について

(Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN)

Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN について

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TANAKA T

TANAKA T について

(Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN)

Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN について

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KAWABATA K

KAWABATA K について

(Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN)

Hiroshima Inst. Technol., Hiroshima, JPN について


資料名：
Vacuum  (Vacuum)

Vacuum について


巻： 62  号： 2/3  ページ： 293-296  発行年： 2001年06月15日 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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多極磁気プラズマ閉じ込め(MMPC)によりイオン化を磁気的に...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*コバルト化合物

コバルト化合物 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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圧力依存性

圧力依存性 について

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分類 (2件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

,  その他の無機化合物の電気伝導 
(BM03044O)

その他の無機化合物の電気伝導 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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非平衡

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マグネトロンスパッタリング

マグネトロンスパッタリング について

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堆積

堆積 について

, 
薄膜

薄膜 について

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微細構造

微細構造 について

, 
電気特性

電気特性 について


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