文献
J-GLOBAL ID：200902198686577844   整理番号：96A0129143

過酸化水素とヘキサフルオロアセチルアセトンを用いた銅の熱ドライエッチング

Thermal dry-etching of copper using hydrogen peroxide and hexafluoroacetylacetone.
著者 (3件)：
JAIN A

JAIN A について

(Univ. New Mexico, NM, USA)

Univ. New Mexico, NM, USA について

, 
KODAS T T

KODAS T T について

(Univ. New Mexico, NM, USA)

Univ. New Mexico, NM, USA について

, 
HAMPDEN-SMITH M J

HAMPDEN-SMITH M J について

(Univ. New Mexico, NM, USA)

Univ. New Mexico, NM, USA について


資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 269  号： 1/2  ページ： 51-56  発行年： 1995年11月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
塩素などのハロゲンを用いずに高速でCuを除去し,揮発性のエッ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ドライエッチング

ドライエッチング について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ペンタンジオン誘導体

ペンタンジオン誘導体 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0129143&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  試料技術 
(BA02070O)

試料技術 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
過酸化水素

過酸化水素 について

, 
ヘキサフルオロアセチルアセトン

ヘキサフルオロアセチルアセトン について

, 
銅

銅 について

, 
ドライエッチング

ドライエッチング について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM