III-V半導体のマルチウエハ成長のための新奇な反応炉概念

文献

J-GLOBAL ID：200902198774663351 整理番号：99A0484903

A novel reactor concept for multiwafer growth of III-V semiconductors.

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資料名：
巻： 198/199 号： Pt.2 ページ： 1049-1055 発行年： 1999年03月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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