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J-GLOBAL ID：200902199142018236   整理番号：95A0818797

レーザ集束原子蒸着による二次元アレイのナノ加工

Nanofabrication of a two-dimensional array using laser-focused atomic deposition.

著者 (4件)： GUPTA R (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  MCCLELLAND J J (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  JABBOUR Z J (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  CELOTTA R J (National Inst. Standards and Technol., Maryland)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 67  号： 10  ページ： 1378-1380  発行年： 1995年09月04日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ定在波を利用して原子を集束させるレーザ集束原子蒸着法に...

シソーラス用語： ケイ素 ,...
準シソーラス用語： レーザ集束原子蒸着

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分類 (3件)： 試料技術  (BA02070O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ ,  集束 ,  原子 ,  蒸着 ,  アレイ ,  ナノ加工