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J-GLOBAL ID：200902199259981746   整理番号：02A0374694

微細ダイヤモンド工具を用いたマイクロ研削法の開発

著者 (2件)： 和田紀彦 (松下電器産業) ,  正木健 (松下電器産業)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2002  号： 春季  ページ： 360  発行年： 2002年03月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  研削  (QC03000R)

引用文献 (3件)：

• 高畑憲一. 微細V溝の高精度加工. 精密工学会 1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 35
• 和田紀彦. 微細V溝加工法の開発-シリコン材料への加工-. 1999年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 35
• 和田紀彦. 微細V溝加工法の開発-三次元曲面への適用-. 日本機械学会2000年度年次大会講演論文集(III). 533

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細 ,  ダイヤモンド工具 ,  マイクロ研削 ,  開発