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J-GLOBAL ID：200902199310268189   整理番号：93A0936532

Analyse par diffraction des rayons X, de l’<span style=text-decoration:overline>e ́</span>volution des contraintes r<span style=text-decoration:overline>e ́</span>siduelles associ<span style=text-decoration:overline>e ́</span>e <span style=text-decoration:overline>a`</span> la gravure de lignes dans un d<span style=text-decoration:overline>e ́</span>p<span style=text-decoration:overline>o^</span>t mince de tungst<span style=text-decoration:overline>e`</span>ne CVD sur substrat de Si.

著者 (5件)： MANIGUET L (ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res) ,  IGNAT M (ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res) ,  DUPEUX M (ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res) ,  BACMANN J J (CENG, Grenoble) ,  NORMANDON P (France T<span style=text-decoration:overline>e ́</span>l<span style=text-decoration:overline>e ́</span>come-CNET, Meylan)
資料名： Revue de Metallurgie. Cahiers d’Informations Techniques  (Revue de Metallurgie. Cahiers d'Informations Techniques)
巻： 90  号： 9  ページ： 1109  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： D0047A  ISSN： 0035-1563  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： フランス (FRA)  言語： フランス語 (FR)

タイトルに関連する用語 (8件)： PAR ,  DES ,  Re ,  La ,  UN ,  Ne ,  CVD ,  Si