文献

J-GLOBAL ID：200902200062121352   整理番号：05A1032825

5nmの解像能を持つ小型超精密位置決め装置の開発

Development of a small ultraprecision positioning device with 5 nm resolution

著者 (4件)： OTSUKA Jiro (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN) ,  ICHIKAWA Soji (Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN) ,  MASUDA Tomio (Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN) ,  SUZUKI Kazuhiro (Enomoto Ind. Ltd, Shizuoka, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 16  号： 11  ページ： 2186-2192  発行年： 2005年11月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報の目的は,圧電アクチュエータを除く事により,位置決めデバ...

シソーラス用語： *分解能 ,...
準シソーラス用語： 電動機制御

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A1032825&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0354C") }}

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 解像能 ,  超精密 ,  位置決め装置 ,  開発