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J-GLOBAL ID：200902200892894710   整理番号：06A0784984

超薄膜のダイヤモンド様炭素膜の厚さの測定

Measuring the thickness of ultra-thin diamond-like carbon films

著者 (4件)： LEMOINE Patrick (Nanotechnology Res. Inst., Univ. of Ulster, Newtownabbey, BT37OQB Co Antrim, Northern Ireland, GBR) ,  QUINN John Paul (Nanotechnology Res. Inst., Univ. of Ulster, Newtownabbey, BT37OQB Co Antrim, Northern Ireland, GBR) ,  MAGUIRE P.d. (Nanotechnology Res. Inst., Univ. of Ulster, Newtownabbey, BT37OQB Co Antrim, Northern Ireland, GBR) ,  MCLAUGHLIN J.a.d. (Nanotechnology Res. Inst., Univ. of Ulster, Newtownabbey, BT37OQB Co Antrim, Northern Ireland, GBR)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 44  号： 13  ページ： 2617-2624  発行年： 2006年11月 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本紙は,けい素基板上に蒸着した50nm以下のダイヤモンド様炭...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  ダイヤモンド様炭素 ,  厚さ