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J-GLOBAL ID：200902201093987320   整理番号：07A0234946

波長1300及び2100nmのフェムト秒レーザパルスを照射したシリコン上のサブ波長表面構造

Sub-wavelength surface structures on silicon irradiated by femtosecond laser pulses at 1300 and 2100 nm wavelengths
著者 (3件)：
CRAWFORD T.h.r.

CRAWFORD T.h.r. について

(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)

Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7 について

, 
HAUGEN H.k.

HAUGEN H.k. について

(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)

Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7 について

, 
HAUGEN H.k.

HAUGEN H.k. について

(Dep. of Physics and Astronomy, McMaster Univ., CAN)

Dep. of Physics and Astronomy, McMaster Univ., CAN について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 253  号： 11  ページ： 4970-4977  発行年： 2007年03月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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低フルエンスの直線偏光フェムト秒レーザパルス照射後にシリコン...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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直線偏光

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分類 (2件)：
分類
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レーザ照射・損傷 
(BK16040S)

レーザ照射・損傷 について

,  半導体の表面構造 
(BK15030A)

半導体の表面構造 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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波長

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フェムト秒レーザパルス

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シリコン

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サブ波長

サブ波長 について

, 
表面構造

表面構造 について


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