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J-GLOBAL ID:200902201093987320   整理番号:07A0234946

波長1300及び2100nmのフェムト秒レーザパルスを照射したシリコン上のサブ波長表面構造

Sub-wavelength surface structures on silicon irradiated by femtosecond laser pulses at 1300 and 2100 nm wavelengths
著者 (3件):
資料名:
巻: 253  号: 11  ページ: 4970-4977  発行年: 2007年03月30日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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低フルエンスの直線偏光フェムト秒レーザパルス照射後にシリコン...
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分類 (2件):
分類
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レーザ照射・損傷  ,  半導体の表面構造 
タイトルに関連する用語 (5件):
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