閃光焼なましを用いる超浅部打込み接合の先進熱プロセシング

SKORUPA Wolfgang; SKORUPA Wolfgang; GEBEL Thoralf; YANKOV Rossen A.; PAUL Silke; LERCH Wilfried; DOWNEY Daniel F.; AREVALO Edwin A.

文献

J-GLOBAL ID：200902201225826339 整理番号：05A0637247

閃光焼なましを用いる超浅部打込み接合の先進熱プロセシング

Advanced Thermal Processing of Ultrashallow Implanted Junctions Using Flash Lamp Annealing

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資料名：

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巻： 152 号： 6 ページ： G436-G440 発行年： 2005年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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90nmレベルを超えてソース/ドレイン接合深さを極めて浅くす...

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