混合ガス内の容量性的に結合したRF放電破壊

文献

J-GLOBAL ID：200902201271272356 整理番号：07A1070048

Capacitively Coupled RF Discharge Breakdown in Gas Mixtures

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巻： 127 号： 11 ページ： 714-718 発行年： 2007年11月01日
JST資料番号： S0808A ISSN： 0385-4205 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

Ne-N2,Ne-Ar,He-N2混合システム中のRF(13...

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気体放電

引用文献 (15件)：

(1) V. A. Lisovsky and V. D. Yegorenkov : “Low-pressure gas breakdown in combined fields”, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 27, pp. 2340-2348 (1994)
(2) M. Shoji and M. Sato : “Breakdown measurement of a capacitive radio frequency discharge with insulated electrode”, Appl. Phys. Lett., Vol. 71, pp. 3362-3363 (1997)
(3) V. A. Lisovsky and V. D. Yegorenkov : “Rf breakdown of low-pressure gas and a novel method for determination of electron-drift velocities in gases”, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 31, pp. 3349-3357 (1998)
(4) P. F. Clanoy, J. L. Clark, and R. G. Earl : “Electrodeless r.f. discharges in mercury-argon and mercury-argon-nitrogen gas mixtures”, 2nd Int. Conf. on Gas Discharge, pp. 254-256 (1972)
(5) N. Sasaki, Y. Uchida, and M. Sato : “Breakdown characteristics of rf capacitive discharges in argon-nitrogen mixture”, Ext. Absts. of ICRP-4/SPP-16, pp. 83-84 (1998)

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