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J-GLOBAL ID：200902201289740624   整理番号：05A0122205

金属アルミニウムIC膜に及ぼすふっ化アミンクリーニングの化学の影響 II 時間依存性自由エネルギー相関によるOCPの原因となる化学反応の決定

Effects of Amine Fluoride Cleaning Chemistry on Metallic Aluminum IC Films II. Determining Causal Chemistry of OCPs by a Time-Dependent Free Energy Relationship

著者 (1件)： CARTER M K (DuPont Electronics Technol., California, USA)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 152  号： 1  ページ： B30-B38  発行年： 2005年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 第一報(J.Electrochem.Soc.,Vol.150...

シソーラス用語： *アルミニウム ,...

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分類 (3件)： 電極電位,起電力  (CB07020Y) ,  固-液界面  (CB12050B) ,  腐食基礎理論,腐食試験  (WB03020Q)

物質索引 (1件)： エチルジイソプロピルアンモニウム・フルオリド

タイトルに関連する用語 (9件)： アルミニウム ,  IC ,  化学 ,  時間依存性 ,  自由エネルギー ,  相関 ,  OCP ,  原因 ,  化学反応