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J-GLOBAL ID：200902201342095060   整理番号：08A0900239

超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第3報)-工具の高速制御によるマイクロ光学デバイス金型の高速加工-

Development of a Three Axis Controlled Fast Tool Servo for Ultra Precision Machining (3rd Report)-High-speed Machining of Dies for Micro-Optical Devises Using High-Speed Tool Motion Control-

著者 (5件)： 和田紀彦 (松下電器産業) ,  高橋正行 (松下電器産業) ,  田代功 (松下電器産業) ,  森脇俊道 (摂南大 工) ,  中本圭一 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 74  号： 9  ページ： 971-975  発行年： 2008年09月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らは自由曲面形状あるいは微細形状加工の高速化および高精度化を目的として,工具を任意方向に制御可能なユニットを用いた3軸制御ファストツールサーボ(以下FTS)加工システムを開発しており,非軸対称形状の高速加工と振動切削による微細溝加工に対する有効性を確認している。本研究では開発した3軸駆動FTS加工システムの光学デバイス金型加工への適用について検討した。これにより得た主な知見を次に示した。1)加工機ステージを高速で位置決めした際に問題となるステージの振動に対して,3軸同時制御のFTSユニットに運動誤差補償機能を加えることにより,直線駆動軸および回転駆動軸の振動について補償できること,2)運動誤差補償による加工ステージの高速位置決めと3軸FTSユニットによる振動切削加工によりマイクロプリズムの金型を加工し,従来法と比較して加工時間を大幅に短縮できること,3)3軸FTSユニットによる工具の高速制御という特徴を生かし,ステージの位置決め動作とユニットの工具駆動による高速加工方法を開発し,マイクロレンズアレイを対象に検証を行い,1個の形状を1s以下で加工する高速加工を達成したこと。

シソーラス用語： *超精密加工 ,  *サーボ機構 ,  制御 ,  加工速度 ,  *光学素子 ,  *金型 ,  位置決め ,  マイクロレンズ ,  補償 ,  振動切削 ,  溝加工 ,  *多軸工作機械 ,  多軸制御 ,  マイクロレンズアレイ
準シソーラス用語： *高速加工 ,  誤差補償

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (4件)：

• 和田紀彦. 超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発 (第1報) -ファストツールサーボユニットの試作と基本性能の評価-. 精密工学会誌. 2007, 73, 12, 1345
• 和田紀彦. 超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発 (第2報) -工具振動による微細溝加工の検討-. 精密工学会誌. 2008, 74, 5, 486
• 石井正人. 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法 (第7報) -制御特性と加工精度-. 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 1997. 1997, 14
• 高木潤一. 液晶パネル用バックライト-ベクター放射結合方式による携帯情報端末用高効率・高輝度バックライト. O plus E. 2002, 24, 11, 1226

タイトルに関連する用語 (8件)： 精密加工 ,  3軸 ,  開発 ,  工具 ,  高速制御 ,  マイクロ光学デバイス ,  金型 ,  高速加工