文献

J-GLOBAL ID：200902201905920917   整理番号：06A0742177

Siを組込んだDLC膜の熱安定性とトライボロジー特性

Thermal Stability and Tribological Properties of Si-incorporated DLC Films

著者 (6件)： CHOI Junho (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN) ,  MIYAGAWA Soji (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN) ,  NAKAO Setsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN) ,  IKEYAMA Masami (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN) ,  KIM Jongduk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN) ,  MIYAGAWA Yoshiko (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31  号： 3  ページ： 689-692  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0~29原子%のSiを組込んだDLC膜の熱安定性とトライボロ...

シソーラス用語： *ハイブリッド複合材料 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0742177&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L4468A") }}

分類 (3件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (10件)：

• R. Dillon, J. Woollam and V. Katkanant, Phys. Rev. B, 29, 3482-3489(1984).
• S. S. Camargo, A. L. B. Neto, R. A. Santos, F. L. Freire, R. Carius and F. Finger, Diamond Relat. Mater., 7, 1155-1162(1998).
• L. G Jacobsohn, P Prioli, F. L. Freire, G Mariotto, M. M. Lacerda and Y. W. Chung, Diamond Relat. Mater., 9, 680-684(2000).
• V. Kulikovsky, V. Vorlicek, P. Bohac, A. Kurdyumov, A. Deyneka and L. Jastrabik, Diamond Relat. Mater., 12, 1378-1384(2003).
• S. Miyagawa, S. Nakao, M. Ikeyama and Y. Miyagawa, Surf Coat. Technol., 156, 322-327(2002).

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  DLC膜 ,  熱安定性 ,  トライボロジー特性