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J-GLOBAL ID：200902201956576765   整理番号：05A1003555

PdNi合金薄膜を用いたボールSAWセンサによる水素ガスの検出

Detection of hydrogen by ball SAW sensor by using a PdNi alloy thin film

著者 (4件)： 山中一司 (東北大) ,  中曽教尊 (凸版印刷) ,  吹浦健 (Ball Semiconductor inc., Texas, USA) ,  SIM Dong Youn (山武)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 105  号： 345(US2005 53-70)  ページ： 17-20  発行年： 2005年10月13日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 球面を伝搬する弾性表面波(SAW)を用いた水素センサを開発し...

シソーラス用語： 水素 ,...

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分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (13件)：

• HUGHES, R. C. J. Appl. Phys. 1992, 71, 542
• D'AMICO, A. 1982 IEEE Ultrasonics Symp. 1982, 308
• JAKUBIK, W. P. Sens. Actuators B. 2002, 82, 265
• YAMANAKA, K. Proc. 2003 IEEE Ultrason. Symp. 2004, 299
• YAMANAKA, K. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 2797

タイトルに関連する用語 (4件)： 合金薄膜 ,  ボール ,  SAWセンサ ,  水素ガス